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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實(shí)現 OLED 過(guò)程的極大價(jià)值。
詳情介紹:
Cygnus 2 薄膜沉積控制器
為 OLED 應用提供上佳測量精度
Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實(shí)現 OLED 過(guò)程的極大價(jià)值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業(yè)中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無(wú)法比擬的性能、品質(zhì)和功能,賦予您的過(guò)程超卓的可重復性。
功能
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得極高、極穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
- 一個(gè) Cygnus 2 即可同時(shí)、單獨或以任何組合方式控制超多 6 個(gè)來(lái)源,無(wú)需使用兩個(gè)或三個(gè)控制器
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶(hù)很容易看到過(guò)程的進(jìn)展狀況
- 10 Hz 測量
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
- 多個(gè)源厚度合計功能
- 測量低密度、低速率材料的平均速率(使用穩定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積超多 30 秒)
- 速率顯示分辨率可達0.001?
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長(cháng)的真空傳感器電纜
- 無(wú)沉積控制允許持續控制源,因為基片可以通過(guò)沉積室不斷循環(huán)
- 6 個(gè)標準 DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監控
- 可選以太網(wǎng)通信
- 符合 RoHS 標準