產(chǎn)品名稱(chēng)：英?？凳⒕w監測儀

SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過(guò)程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶(hù)實(shí)際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀(guān)的模擬沉積速率及膜厚信號。在大型系統中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數據通過(guò)平均值，以達到更精準的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過(guò)程中，為了延長(cháng)傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶(hù)可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來(lái)控制沉積源、探頭檔板、信號時(shí)間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。 數字輸入可以通過(guò)外部信號來(lái)對讀數進(jìn)行開(kāi)始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過(guò)電腦上進(jìn)行調試安裝。軟件可以用來(lái)設置和存儲所有參數，包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時(shí)，USB或以太網(wǎng)選項也添加通信協(xié)議中，以超大程度方便不同用戶(hù)。 便于使用 開(kāi)啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以消除上次讀數，然后關(guān)閉，打開(kāi)源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見(jiàn)。當達到預設膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì )自動(dòng)關(guān)閉，同時(shí)前面板報警器開(kāi)始亮燈。在鍍膜過(guò)程中，操作員可以在任意時(shí)間通過(guò)Xtal Life鍵來(lái)查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個(gè)存儲膜系進(jìn)行設置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。 高精度，低成本 標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數/秒,如果用戶(hù)有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內，溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了超卓的性?xún)r(jià)比。 產(chǎn)品特點(diǎn)： ■ 雙通道（標準型），四通道可選 ■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出 ■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數/s ■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選  產(chǎn)品規格： QCM傳感器輸入                 標準型: 2;路       可選: 4路  頻率范圍                             1-10 MHz  頻率分辨率                          標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec                                             可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec  頻率穩定性                          在 0o to 50oC，總計± 2 ppm  可選擇的測量周期                0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec)  測量選擇                              1 to 20 readings  存儲膜系                              99  模擬輸出                              2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚  數字輸入/輸出                      2 路數字輸入, 4路繼電輸出  數字接口                              標準型: RS-232                                              可選: USB or 以太網(wǎng)  電源                                     0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W  CE 標識                               Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD  安裝支架                             1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,                                              89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") 重量                                     2.7 Kg (6 lbs)  Windows軟件(included) 提供遠程安裝和操作指導，數據錄入功能 定貨信息 附件 782-900-008             單臺SQM-160 19"安裝支架 782-900-014             雙臺SQM-160 19"安裝支架 782-502-062             4傳感器輸入擴展卡 （將標準型2路擴展到6路）  782-900-042             高分辨率選件（此項需在工廠(chǎng)中完成安裝） 782-900-040             USB選擇卡  782-900-041             以太網(wǎng)選擇卡