Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監控您的過(guò)程

****的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現*長(cháng)運行時(shí)間

持續升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著(zhù)損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此，在半導體制造中心了解過(guò)程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實(shí)現業(yè)內**的性能，有助于*大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長(cháng)故障平均間隔時(shí)間的特性，有助于讓您的盈虧底線(xiàn)優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設備領(lǐng)域的專(zhuān)長(cháng)，制造的 RGA 擁有業(yè)內**的數據采集速度、*低可檢測分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會(huì )犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

• 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms *高每點(diǎn)數據率
• TCP/IP 以太網(wǎng)連接
• 雙絲極
• 可現場(chǎng)更換電子倍增器
• 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
• 較短的傳感器可降低安裝占地面積
• 九個(gè)數量級的動(dòng)態(tài)量程
• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
• 信噪比更高
• 可調換傳感器和電子元件
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
• 符合 RoHS 標準