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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
Transpector XPR3 提供的 RGA 過(guò)程監控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實(shí)時(shí)數據。用戶(hù)可以根據此信息檢測和診斷問(wèn)題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長(cháng)工具運行時(shí)間。
詳情介紹：
Transpector XPR3 氣體分析系統
無(wú)需復雜壓力轉換的 PVD 過(guò)程監控
Transpector XPR3 提供的 RGA 過(guò)程監控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實(shí)時(shí)數據。用戶(hù)可以根據此信息檢測和診斷問(wèn)題，從而zui大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長(cháng)工具運行時(shí)間。
Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統，可用于基于四極桿的高壓過(guò)程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統的成功經(jīng)驗，具有非常好的的靈敏度、準確性和靈活性，可以監控氣相沉積 (PVD) 過(guò)程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破，無(wú)需大型、復雜的壓力轉換設備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內操作。
功能
- 經(jīng)過(guò)重新設計的離子源zui大限度減少污染積存，可延長(cháng)使用壽命，提供更純凈的信號。
- 新 EM 在 PVD 過(guò)程壓力下工作，可實(shí)現更快速、更純凈的數據收集，消除 FC 向 EM 過(guò)度的必要，更便于數據分析。
- 更長(cháng)的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。
典型應用
- PVD 過(guò)程模塊
- 預清洗模塊
- 非群集 PVD 工具
- 夾鉗式除氣模塊
