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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
INFICON Transpector CPM 一直是半導體行業(yè)市場(chǎng)率先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監測系統?，F在，Transpector CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗證的泵送和進(jìn)口系統與新型傳感器和電子元件，達到業(yè)內率先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現有半導體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監控器。
詳情介紹：
INFICON Transpector CPM 一直是半導體行業(yè)市場(chǎng)率先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監測系統?，F在，Transpector CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗證的泵送和進(jìn)口系統與新型傳感器和電子元件，達到業(yè)內率先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現有半導體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監控器。
Transpector CPM 3 通過(guò)以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報率：業(yè)內率先的測量技術(shù)，穩健的適應性架構，易于維護，出色的產(chǎn)品支持
功能
- ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現實(shí)時(shí)過(guò)程監測和分析
- ALD 就緒，測量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
- 在大多數苛刻 CVD 和蝕刻應用中，展現出經(jīng)實(shí)踐驗證的耐久性和可靠性
- 應用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 高 級應用專(zhuān)家提供支持，是一款強大的過(guò)程監測與診斷工具
- 緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導體生產(chǎn)設備
- Hexblock? 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應時(shí)間和響應時(shí)間
- 電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶(hù)監測過(guò)程壓力，并自動(dòng)保護系統不出現壓力偏移
- 自動(dòng)校準 — 確保長(cháng)期數據穩定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配
