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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
INFICON高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個(gè)單個(gè)緊湊經(jīng)濟的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內的壓力。HPG400 型真空計為精準的濺射過(guò)程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。
詳情介紹：
HPG400 大氣壓至高真空真空計
INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個(gè)單個(gè)緊湊經(jīng)濟的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內的壓力。 HPG400 型真空計為精準的濺射過(guò)程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。
益處
- HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的復雜性
- 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內的壓力，進(jìn)而改善過(guò)程控制
- 用戶(hù)可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動(dòng)
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過(guò)早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調節，減少操作員干預
- RoHS 合規
典型應用
- 半導體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應用
- 低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制
