真空計種類(lèi)那么多，如何選擇才*好？

真空計種類(lèi)那么多，如何選擇才*好？

2017-10-11 INFICON英?？?/span>

一、皮拉尼真空計

※1皮拉尼真空計原理

· 加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

· 由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì )發(fā)生變化

· 熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系

※2衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規

1）穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2）穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）

※3氣體的熱傳導，與下列提條件有關(guān)

1）氣體類(lèi)型

2）壓力大小

※4皮拉尼真空計測量范圍與精度

測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar

精度(氮氣)：

1x 10-3… 100毫巴   ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴   ±50%

100 ... 1000毫巴   ±50%

※5皮拉尼真空計的優(yōu)特點(diǎn)

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護，大大延長(cháng)了燈絲的使用壽命。

※6皮拉尼真空計具體型號

· PSG050/051

· PSG100-S  PSG101-S

· PSG500/500-S PSG502

· 皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400 PCG410 PCG550

1）有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起

2）兩種原理的規管全過(guò)程都工作

3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號

4）1 mbar– 100mbar 兩規信號同時(shí)采用

5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號

6）輸出的真空度信號（電壓）連續，無(wú)跳躍

※7皮拉尼真空計應用行業(yè)

· 各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)

· 各種中低真空測量，如照明，冶金

· 真空連鎖控制，高真空計的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制，如PEG100

· PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216

· PCG400 PCG410(現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類(lèi)型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用 

· PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協(xié)議功能，在大系統中應用廣泛

二、電容薄膜規

CDG025D/CDG045/100/160/200

※1電容薄膜規工作原理

· 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系

· 通過(guò)測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度

※2電容薄膜規特點(diǎn)

· 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成

· 在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩定與可靠的高精度壓強測量

· 快速的預熱和恢復時(shí)間,提高生產(chǎn)率

· **的長(cháng)期穩定性,再現性和重復性

· 由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補償和EMC兼容性

· 對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定

· 快速預熱在開(kāi)機的一分鐘內達到快速穩定和進(jìn)入準備使用狀態(tài)

· 一鍵按鈕: 調零功能和設點(diǎn)調整

· 抗腐蝕超純陶瓷傳感器

· 能經(jīng)受數百萬(wàn)次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象

· 暴露大氣壓后快速恢復,無(wú)需隔離閥

· 對蒸氣介質(zhì)不敏感

· 先進(jìn)的傳感器屏蔽 (**)延長(cháng)真空計在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命

※3 INFICON陶瓷技術(shù)

· 陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性

1）無(wú) “記憶” 效應

2）陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題

3）*好的溫度補償

4）**的零點(diǎn)穩定性

· 低使用成本

1）非凡的使用壽命

2）無(wú)需隔離閥

※4 Sky CDG025D測量范圍

※5加熱型薄膜規

※6加熱型優(yōu)點(diǎn)

· 零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）

· 更高的精度

· 環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無(wú)影響

· 比工藝更快的預熱啟動(dòng)時(shí)間’

· 快速恢復時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV

· 任意安裝角度

· 抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響

※7電容薄膜規的應用

要求高的應用條件下，**而快速的壓強測量

· 用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備制造，如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。

· 資料貯存和顯示器制造設備

· 工業(yè)真空設備

· 常用高精度真空測量

三、熱電離規

※1熱電離規原理

Richardson 效應: 高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。

1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系

※2兩種類(lèi)型熱電離規

※3熱電離型復合規

· HPG400

· BPG400/-SP/-SD/SR

· BPG402

· BCG450 B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起

※4優(yōu)點(diǎn)及應用

· BPG

 ■測量范圍寬，一個(gè)規管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000 mbar

 ■精度高，極好的重復性5%

 ■燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會(huì )因突然暴露大氣而燒毀。

 ■方便的校準調節

 ■注意事項：

   ◆對氣體有選擇性

   ◆抗污染能力弱

 ■普遍應用于從低到超高真空的測量

 ■在工業(yè)，半導體，研究行業(yè)應用廣泛

· BPG402

 ■雙燈絲，大大延長(cháng)使用壽命

 ■電離規的工作可以自定義控制

 ■探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性

· HPG400

 ■電離規與皮拉尼的復合

 ■皮拉尼自鎖保護電離規

 ■電離規的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內自定義

 ■簡(jiǎn)易的校準功能

 ■相對便宜的價(jià)格

· BCG450

 ■可調的電離規工作起點(diǎn)

 ■**的重復性

 ■**的大氣端測量

四、冷電離規（潘寧規）

※1冷電離規原理

通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離。

※2潘寧規特點(diǎn)與應用

· 測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

· 全金屬密封

· 無(wú)燈絲

· 易清洗

· 應用于普通的高真空測量

※3冷規復合規MPG400特點(diǎn)與應用

· 冷規與皮拉尼規的復合

· 測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar

· 易于保養清洗

· 無(wú)高真空燈絲，

· 應用于普通高真空測量

※4 冷規及復合規性能比較

     聯(lián)系電話(huà)：13858065668，王先生