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文章詳情
如何選擇INFICON真空計
日期：2025-06-01 03:26
瀏覽次數：1341
摘要：如何選擇INFICON真空計
一，皮拉尼真空計PSG500
1.皮拉尼真空計原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì )發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規
1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關(guān):
...
如何選擇INFICON真空計
一，皮拉尼真空計PSG500
1.皮拉尼真空計原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì )發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規
1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類(lèi)型
2，壓力大小
4.皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5x10-4至1000mbar
精度（氮氣）:1x10-3…100毫巴±15%
5x10-4…1x10-3毫巴±50%
100...1000毫巴±50%
5.皮拉尼真空計的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護，大大延長(cháng)了燈絲的使用壽命
6.皮拉尼真空計具體型號
PSG050/051
PSG100-SPSG101-S
PSG500/500-SPSG502
皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG550
1.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起
2.兩種原理的規管全過(guò)程都工作
3.100mbar—1000mbar使用薄膜規信號
4.1mbar–100mbar兩規信號同時(shí)采用
5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號
6.輸出的真空度信號（電壓）連續，無(wú)跳躍
7.皮拉尼真空計應用行業(yè)
各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制，如PEG100
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
PCG400,PCG410（現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類(lèi)型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
PSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協(xié)議功能，在大系統中應用廣泛
二，電容薄膜規CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
1.電容薄膜規工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過(guò)測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2.電容薄膜規特點(diǎn)
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
快速的預熱和恢復時(shí)間,提高生產(chǎn)率
**的長(cháng)期穩定性,再現性和重復性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補償和EMC兼容性
對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
快速預熱在開(kāi)機的一分鐘內達到快速穩定和進(jìn)入準備使用狀態(tài)
一鍵按鈕:調零功能和設點(diǎn)調整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數百萬(wàn)次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復,無(wú)需隔離閥
對蒸氣介質(zhì)不敏感
先進(jìn)的傳感器屏蔽（**）延長(cháng)真空計在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命
3.INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性
1，無(wú)“記憶”效應
2，陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題
3，*好的溫度補償
4，**的零點(diǎn)穩定性
低使用成本
1.非凡的使用壽命
2.無(wú)需隔離閥
4.SkyCDG025D測量范圍
5.加熱型薄膜規
6.加熱型優(yōu)點(diǎn)
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無(wú)影響
比工藝更快的預熱啟動(dòng)時(shí)間’
快速恢復時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7.電容薄膜規的應用
要求高的應用條件下，**而快速的壓強測量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設備
工業(yè)真空設備
常用高精度真空測量
三，熱電離規
1.熱電離規原理
Richardson效應:高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2.兩種類(lèi)型熱電離規
3.熱電離型復合規
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起
4.優(yōu)點(diǎn)及應用
BPG400
測量范圍寬，一個(gè)規管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000mbar
精度高，極好的重復性5%
燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會(huì )因突然暴露大氣而燒毀。
方便的校準調節
注意事項：
對氣體有選擇性
抗污染能力弱
普遍應用于從低到超高真空的測量
在工業(yè)，半導體，研究行業(yè)應用廣泛
BPG402
雙燈絲，大大延長(cháng)使用壽命
電離規的工作可以自定義控制
探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性
HPG400
電離規與皮拉尼的復合
皮拉尼自鎖保護電離規
電離規的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內自定義
簡(jiǎn)易的校準功能
相對便宜的價(jià)格
BCG450
可調的電離規工作起點(diǎn)
**的重復性
**的大氣端測量
四，冷電離規（潘寧規） PEG100/050
1.冷電離規原理
通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離
2.潘寧規特點(diǎn)與應用
測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
全金屬密封
無(wú)燈絲
易清洗
應用于普通的高真空測量
3.冷規復合規MPG400特點(diǎn)與應用
冷規與皮拉尼規的復合
測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
易于保養清洗
無(wú)高真空燈絲，
應用于普通高真空測量
一，皮拉尼真空計PSG500
1.皮拉尼真空計原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì )發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規
1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類(lèi)型
2，壓力大小
4.皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5x10-4至1000mbar
精度（氮氣）:1x10-3…100毫巴±15%
5x10-4…1x10-3毫巴±50%
100...1000毫巴±50%
5.皮拉尼真空計的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護，大大延長(cháng)了燈絲的使用壽命
6.皮拉尼真空計具體型號
PSG050/051
PSG100-SPSG101-S
PSG500/500-SPSG502
皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG550
1.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起
2.兩種原理的規管全過(guò)程都工作
3.100mbar—1000mbar使用薄膜規信號
4.1mbar–100mbar兩規信號同時(shí)采用
5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號
6.輸出的真空度信號（電壓）連續，無(wú)跳躍
7.皮拉尼真空計應用行業(yè)
各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制，如PEG100
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
PCG400,PCG410（現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類(lèi)型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
PSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協(xié)議功能，在大系統中應用廣泛
二，電容薄膜規CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
1.電容薄膜規工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過(guò)測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2.電容薄膜規特點(diǎn)
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
快速的預熱和恢復時(shí)間,提高生產(chǎn)率
**的長(cháng)期穩定性,再現性和重復性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補償和EMC兼容性
對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
快速預熱在開(kāi)機的一分鐘內達到快速穩定和進(jìn)入準備使用狀態(tài)
一鍵按鈕:調零功能和設點(diǎn)調整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數百萬(wàn)次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復,無(wú)需隔離閥
對蒸氣介質(zhì)不敏感
先進(jìn)的傳感器屏蔽（**）延長(cháng)真空計在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命
3.INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性
1，無(wú)“記憶”效應
2，陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題
3，*好的溫度補償
4，**的零點(diǎn)穩定性
低使用成本
1.非凡的使用壽命
2.無(wú)需隔離閥
4.SkyCDG025D測量范圍
5.加熱型薄膜規
6.加熱型優(yōu)點(diǎn)
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無(wú)影響
比工藝更快的預熱啟動(dòng)時(shí)間’
快速恢復時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7.電容薄膜規的應用
要求高的應用條件下，**而快速的壓強測量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設備
工業(yè)真空設備
常用高精度真空測量
三，熱電離規
1.熱電離規原理
Richardson效應:高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2.兩種類(lèi)型熱電離規
3.熱電離型復合規
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起
4.優(yōu)點(diǎn)及應用
BPG400
測量范圍寬，一個(gè)規管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000mbar
精度高，極好的重復性5%
燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會(huì )因突然暴露大氣而燒毀。
方便的校準調節
注意事項：
對氣體有選擇性
抗污染能力弱
普遍應用于從低到超高真空的測量
在工業(yè)，半導體，研究行業(yè)應用廣泛
BPG402
雙燈絲，大大延長(cháng)使用壽命
電離規的工作可以自定義控制
探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性
HPG400
電離規與皮拉尼的復合
皮拉尼自鎖保護電離規
電離規的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內自定義
簡(jiǎn)易的校準功能
相對便宜的價(jià)格
BCG450
可調的電離規工作起點(diǎn)
**的重復性
**的大氣端測量
四，冷電離規（潘寧規） PEG100/050
1.冷電離規原理
通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離
2.潘寧規特點(diǎn)與應用
測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
全金屬密封
無(wú)燈絲
易清洗
應用于普通的高真空測量
3.冷規復合規MPG400特點(diǎn)與應用
冷規與皮拉尼規的復合
測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
易于保養清洗
無(wú)高真空燈絲，
應用于普通高真空測量
