干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST? 傳感器技術(shù)

穩定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達 10E-12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設計用于滿(mǎn)足半導體應用要求。憑借絕佳環(huán)境系統優(yōu)先級中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過(guò)結合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的最佳真空結構，UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專(zhuān)利軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長(cháng)反應時(shí)間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡(jiǎn)單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據 MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應時(shí)間
• 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有絕對可操作性
• I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供最快的泄漏響應時(shí)間
• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測試結果
• 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
• 旋轉式顯示器和用戶(hù)界面允許簡(jiǎn)單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
• 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測試
• 通過(guò)電子郵件進(jìn)行軟件更新
• 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統確保了較長(cháng)的運行時(shí)間和較低的維護成本
• 內部校準用的內置測試漏孔確保了精確的測試結果

典型應用

• 對半導體加工工具執行維護作業(yè)，無(wú)論是否具有自有泵支持
• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
• 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏
• 工藝氣體系統的檢查和安裝
• 內置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動(dòng)測試